W ostatnim czasie w czasopiśmie Applied Surface Science (Elsevier) ukazała się publikacja członków naszego zespołu, która dotyczy wpływu mocy napylania i ciśnienia parcjalnego tlenu na właściwości strukturalne i optoelektroniczne przezroczystych tlenków przewodzących AZO (ZnO z domieszką Al).
Analizowane przez nas cienkie warstwy wytworzone były metodą rozpylania magnetronowego z wykorzystaniem opracowanego przez nas mozaikowego targetu AZO. W artykule przedstawiono wyniki badań właściwości elektrycznych, optycznych i strukturalnych, a także badania morfologii powierzchni i przekrojów cienkich warstw AZO przygotowanych przy wykorzystaniu różnych gęstości mocy rozpylania i różnych ciśnień parcjalnych tlenu w komorze roboczej. Najlepsze właściwości przygotowanej cienkiej warstwy AZO jako przezroczystej i przewodzącej cienkiej warstwy tlenkowej uzyskano dla warstwy przygotowanej przy stosunku mocy krążącej do mocy efektywnej równym 0,5. Dla tej cienkiej warstwy określono koncentrację elektronów wynoszącą około 6∙10²⁰ cm⁻³ oraz szerokość pasma wzbronionego 3,14 eV, a przeźroczystość warstwy wynosiła 83%.
Artykuł można przeczytać pod linkiem: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.160601